[发明专利]一种晶格匹配的硅基GaInNP垂直腔面发射激光器在审
申请号: | 202011033152.3 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN112152084A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 郑君雄;张昭宇;张保平;冉宏宇;王青 | 申请(专利权)人: | 深圳市飞研智能科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/343 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种晶格匹配的硅基GaInNP垂直腔面发射激光器,涉及半导体激光器的技术领域,包括Si衬底,为n型Si单晶片,在Si衬底的上表面按照层状叠加结构从上至下依次设置有n型GaNP缓冲层、n型DBR结构层、GaNP/GaInNP/GaNP多量子阱有源区和p型DBR结构层,在所述Si衬底下表面制备有下电极,在所述p型DBR结构层上表面制备有上电极。本发明可基于晶硅衬底制备得到激射波长在730~950nm之间的垂直腔面发射激光器,可推进硅光子集成技术的发展,加快垂直腔面发射激光器的应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶格 匹配 gainnp 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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