[发明专利]分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质在审
| 申请号： | 202011033769.5 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112629433A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 松浦心平 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括：获取部(210)，用于从干涉测量设备获取基于具有多个不同波长的光的多个干涉图像；去除部(230)，用于通过去除多个干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干涉分量来输出干涉分量；转换部(240)，用于通过对干涉分量进行希尔伯特变换来生成分析信号；以及计算部(250)，用于基于干涉分量和分析信号，通过指定照射到参考面(132)和测量对象物体(10)的表面上的光的波长的相位梯度，来计算参考面(132)和测量对象物体(10)的表面之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 设备 方法 干涉 测量 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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