[发明专利]一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法有效
申请号: | 202011035525.0 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN112284577B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 赵立波;罗运运;夏勇;罗国希;李字平;李支康;张乾坤;林启敬;杨萍;蒋庄德 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 彭姣云 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法,包括第一电极结构层,第一电极结构层的下方设有压电力敏结构层,压电力敏结构层的下方设有第二电极结构层,第二电极结构层的下方设有柔性绝缘层,柔性绝缘层的下方设有第三电极结构层,第三电极结构层的下方设有压阻力敏结构层,压阻力敏结构层的下方设有第四电极结构层;压电力敏结构层和压阻力敏结构层分别实现对外部动态和静态触觉力学信号的感知;封装后的复合式触觉传感器在第一电极结构层的上面设有第二基底层,第四电极结构层的下方设有第一基底层;本发明制备的复合式触觉传感器同时具备压阻式和压电式感知机理,实现多模态力学参量的测量,可用于柔性穿戴设备、智能机器人等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 复合 触觉 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
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