[发明专利]电容器、其制作方法及电子设备

摘要

本公开提供一种电容器、其制作方法及一种电子设备。本公开的电容器包括：所述电容器为圆台型，包括上电极、介电层、下电极、衬底，其中，下电极的远离衬底一侧的临界尺寸小于靠近所述衬底一侧的临界尺寸。所述方法包括：在衬底上制备圆台型氧化物层，所述圆台型氧化物层的顶部直径大于底部直径；在所述圆台型氧化物层的上表面、侧面及衬底上沉积形成第一氮化钛层，并通过回刻去除所述圆台型氧化物层上表面的第一氮化钛层；去除所述圆台型氧化物层，并在所述第一氮化钛层上沉积形成ZAZ介电膜；在ZAZ介电膜上沉积第二氮化钛层。本公开与现有技术相比的优点在于：(1)能够稳定的确保电容的底部临界尺寸。(2)稳定的管理电阻值和电容值。(3)电容的泄漏电流较小，改善了电容器的刷新特性。