[发明专利]一种磷化物修饰的硅基光电阴极材料及其制备方法

摘要

本发明公开一种高活性、高稳定的磷化物修饰的硅基光电阴极材料，涉及光电催化技术领域，包括光吸收基底，具有电子传输的保护层，电催化层和粘接层。其中，光吸收基底为p型硅，保护层为致密结构的无定形TiO2，电催化剂为介孔结构磷化物，粘接层为疏松结构的TiO2。本发明还公开了硅基光电阴极材料的通用制备方法：首先通过原子层沉积工艺在硅表面沉积致密TiO2保护层；然后旋涂高活性的电催化剂；之后旋涂TiCl4溶液；最后对光电极进行热处理，使TiCl4水解成TiO2并与磷化物形成化学键，从而使电催化剂牢牢粘在基片表面。本发明制备的硅基光电阴极材料在太阳能利用与转化领域具有重大的应用前景和社会价值。