[发明专利]光致抗蚀剂料片缺陷检测系统及其方法在审
| 申请号： | 202011039433.X | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112630234A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 黄冠勋;张勋豪;李岳龙 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂料片缺陷检测系统及其方法。处理单元接收频宽范围相应的中心波长，并依据中心波长数据决定可调光束的中心波长，以使可调光束的中心波长不同于频宽范围相应的中心波长。可调波长光源装置依据中心波长发出可调光束，光致抗蚀剂料片位于可调光束的传递路径上。可调光束的第二部分穿透光致抗蚀剂料片后而形成穿透光束。成像镜头位于穿透光束的传递路径上。图像传感器具有图像感测面，穿透光束成像于图像感测面，以产生检测图像。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂料片 缺陷 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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