[发明专利]一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统在审
| 申请号： | 202011039692.2 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112326665A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 庞陈雷;杨青;王智;徐良;殷源;王立强;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下，被观测样品表面复杂缺陷特征轮廓信息和细节特征信息的检测成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 空间 分步 式移频 照明 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
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