[发明专利]基于费马螺旋自干涉多焦点透镜阵列的哈特曼波前传感仪有效
申请号: | 202011041155.1 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112229528B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 张军勇;李优 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 基于费马螺旋自干涉多焦点透镜阵列的哈特曼波前传感仪,包括费马螺旋自干涉多焦点透镜阵列,记录相机和计算机。本发明利用费马螺旋与透镜阵列组合产生的多焦点自干涉透镜阵列生成可控的多个焦点,相比传统的仅使用单焦点的哈特曼波前传感仪可以得到不同结构的焦斑阵列,从而提高待测波前的恢复精度。所述的费马螺旋自干涉多焦点透镜阵列是使用费马螺旋划分透镜区域生成自干涉透镜,所述的自干涉透镜的相位分布受到费马螺旋线的调制,可以将入射波前调制后生成多个焦点。 | ||
搜索关键词: | 基于 螺旋 干涉 焦点 透镜 阵列 哈特曼波前 传感 | ||
【主权项】:
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