[发明专利]一种LED外延结构及生长方法有效
申请号: | 202011042155.3 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112151647B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 王杰;冯磊;徐平 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/26;H01L33/00;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40 |
代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 张勇;周晓艳 |
地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种LED外延结构,包括衬底以及依次层叠设置在衬底上的第一半导体层、超晶格层、发光层及第二半导体层;超晶格层包括至少一个超晶格单体,超晶格单体为依次层叠设置的SiInN层和SiInGaN层或者是依次层叠设置的AlInGaN层、SiInN层和SiInGaN层;应用本发明的技术方案,效果是:通过设置超晶格层能有效释放第一半导体层的应力,同时提高电子和空穴的复合效率;本发明还公开了一种LED外延生长方法,包括依次在衬底上生长第一半导体层、超晶格层、发光层和第二半导体层;超晶格层包括至少一个超晶格单体,超晶格单体能限制从第一半导体内注入的电子,同时能够让电子在LED传送通道上分散开来,便于向发光层提供源源不断的电子。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 外延 结构 生长 方法 | ||
【主权项】:
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