[发明专利]一种嵌入式真空扫描盒钛膜冷却装置在审

专利信息
申请号: 202011043429.0 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN112399696A 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 张海龙;谭松清;高宁;黄敬松;单云;王复涛;封淼伟;赵平;叶斌;王凤涛;徐粒峰 申请(专利权)人: 上海高鹰科技有限公司
主分类号: H05H7/00 分类号: H05H7/00;H05K7/20
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 沈栋栋
地址: 201507 上海市金*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种嵌入式真空扫描盒钛膜冷却装置,涉及到电子辐照加速器技术领域,包括导热壳体、冷却液进口管、冷却液出口管、冷却液管道、第一支管路和第二支管路,其中,导热壳体的中部设有束流通过方孔,导热壳体的内部设有两冷却液管道,两冷却液管道位于束流通过方孔的两侧,两冷却液管道的一端通过第一支管路连接,两冷却液管道的另一端通过第二支管路连接,导热壳体的一端设有冷却液进口管,且冷却液进口管与第一支管路连接,导热壳体的另一端设有冷却液出口管,冷却液出口管与第二支管路连接,导热壳体的两侧均匀的设有若干安装孔,导热壳体的上表面设有钛膜导热接触面。其热传导效率高、体积小、成本低、使用方便。
搜索关键词: 一种 嵌入式 真空 扫描 盒钛膜 冷却 装置
【主权项】:
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