[发明专利]一种电镜探测器的驱动机构及电镜探测器装置在审
申请号: | 202011045691.9 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112289668A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 刘其武 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/244;H01J37/26 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王艺涵 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种电镜探测器的驱动机构及包含有该驱动机构的电镜探测器,属于电镜技术领域。该驱动机构包括固定件,与样品室相连;伸缩件,与所述固定件可伸缩移动相连,所述样品室设有开口,所述伸缩件包括:安装有探测器的伸缩部,所述伸缩部穿过所述开口且受驱动地带动所述探测器伸缩移动。本发明通过驱动位于固定件上的伸缩件,带动位于样品室内的、位于伸缩部上的探测器进行移动,以此来改变探测器的位置,当不需要使用该探测器时,只需要改变探测器的位置,使其脱离电子光学系统,而无需将探测器从样品内取出;这种操作方式简单快速。 | ||
搜索关键词: | 一种 探测器 驱动 机构 装置 | ||
【主权项】:
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