[发明专利]硅片加工行业污水再生回用的方法有效

专利信息
申请号: 202011045819.1 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN112028343B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 陈晓冬;顾继松 申请(专利权)人: 无锡德宝水务投资有限公司
主分类号: C02F9/04 分类号: C02F9/04;C02F1/44;C02F101/14;C02F101/16
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 汪青;周敏
地址: 214028 江苏省无锡市新区东*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种硅片加工行业污水再生回用的方法,其包括反渗透处理工序和在反渗透处理工序之前的前端处理工序,反渗透处理工序是将前端处理工序处理后的污水通入反渗透膜装置中进行处理,反渗透膜装置包括进水口和用于排出回用水的出水口。反渗透膜装置的进水口安装硅在线检测仪,实时监测反渗透膜装置进水口污水中硅的浓度,通过将检测到的硅的浓度信息反馈到控制系统,由控制系统根据所收到的硅的浓度信息控制反渗透膜装置的运行。本发明根据硅的浓度来相应调节反渗透膜的膜通量,在提高反渗透膜的使用寿命的同时保证污水处理效率。
搜索关键词: 硅片 加工 行业 污水 再生 方法
【主权项】:
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