[发明专利]一种微纳多孔节流静压气浮圆柱轴承

摘要

本发明公开了一种微纳多孔节流静压气浮圆柱轴承装置，其特征在于：气浮圆柱轴承内表面分布多个微纳多孔节流器，即气浮圆柱轴承内表面分布单排或多排微纳多孔节流器，且每排周向均匀分布多个微纳多孔节流器。微纳多孔节流器为薄片结构，厚度为0.1‑10mm，直径为1‑100mm，薄片结构上开有微纳多孔，不同直径大小的多孔可以根据设计自由组合（微米级、纳米级多孔组合或者微米级和纳米级混合多孔组合），通过优化进行合理布局。本发明不仅可以显著提高气浮圆柱轴承的稳定性和力学特性，而且可以有效降低气浮圆柱轴承的自激振动。按照本发明的一种微纳多孔节流静压气浮圆柱轴承具有高速度和高精度等优点，尤其适用于超精密半导体设备和微/纳机电系统等领域。