[发明专利]一种液态双氨基取代的乙硅烷制备方法及其产物的应用有效
| 申请号： | 202011047253.6 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112110948B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 唐超;张学奇;朱思坤;李建恒 | 申请（专利权）人： | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/02 | 分类号： | C07F7/02;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 宁波中致力专利代理事务所(普通合伙) 33322 | 代理人： | 张圆 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液态双氨基取代的乙硅烷的制备方法及其产物在薄膜ALD沉积中的应用。该方法是在惰性气体保护下，向反应容器中加入非极性溶剂和六氯乙硅烷，降温至‑20℃及以下，加入单取代的有机胺，反应后经过滤、蒸馏得到双氨基取代的四氯乙硅烷中间体，与四氢呋喃混合，降温至‑40℃及以下，再向体系中滴入含有还原剂的四氢呋喃溶液进行还原，滴加完成后将体系缓慢升至室温，并持续搅拌，然后用非极性溶剂进行萃取，将萃取溶液浓缩、蒸馏得到纯度≥99％的粗产品，精馏提纯得到纯度≥7N的液态的双氨基取代的乙硅烷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 氨基 取代 硅烷 制备 方法 及其 产物 应用 | ||
【主权项】：
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