[发明专利]集尘处理装置

摘要

提供集尘处理装置，在更换过滤器时不使灰尘向周围扩散。一种集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，将该灰尘和该空气分离，其中，该集尘处理装置包含：圆筒状主体，其与该干式研磨装置连结；吸引箱，其配设在该圆筒状主体的上板上；吸引源，其经由通气管道而与该吸引箱连结；过滤器单元，其配设在该圆筒状主体内，包含凸缘部、管以及过滤器，该凸缘部被该圆筒状主体的该上板支承，该管与该凸缘部一体地形成并具有多个细孔，该过滤器以能够装卸的方式外嵌于该管并由水溶性的材质构成；以及水喷射喷嘴，其配设在该吸引箱的内部，向该过滤器单元内喷射水。