[发明专利]薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法在审
申请号: | 202011049632.9 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN112113893A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 姜允中 | 申请(专利权)人: | 济南兰光机电技术有限公司 |
主分类号: | G01N15/08 | 分类号: | G01N15/08 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 250031 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本公开提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法,包括至少一组测试单元,每组测试单元包括对称设置的两个测试腔体,每个测试腔体与固定用底面之间呈预设锐角,当存在多组测试单元时,多组测试单元依次并排平行设置;测试腔体包括第一测试腔体和第二测试腔体,第一测试腔体与第二测试腔体之间用于放置待测样品;第一测试腔体上设有至少一个试验气体管路接口,第二测试腔体上设有至少一个检测管路接口;本公开能够保证试验腔内的温度、湿度和流量的稳定性,从而保证试验数据的准确性,且结构简单、紧凑、操作方便。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 渗透 检测 测试 结构 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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