[发明专利]薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法在审

专利信息
申请号: 202011049632.9 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN112113893A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 姜允中 申请(专利权)人: 济南兰光机电技术有限公司
主分类号: G01N15/08 分类号: G01N15/08
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 张勇
地址: 250031 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本公开提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法,包括至少一组测试单元,每组测试单元包括对称设置的两个测试腔体,每个测试腔体与固定用底面之间呈预设锐角,当存在多组测试单元时,多组测试单元依次并排平行设置;测试腔体包括第一测试腔体和第二测试腔体,第一测试腔体与第二测试腔体之间用于放置待测样品;第一测试腔体上设有至少一个试验气体管路接口,第二测试腔体上设有至少一个检测管路接口;本公开能够保证试验腔内的温度、湿度和流量的稳定性,从而保证试验数据的准确性,且结构简单、紧凑、操作方便。
搜索关键词: 薄膜 渗透 检测 测试 结构 系统 方法
【主权项】:
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