[发明专利]一种带通滤光片的制备方法有效
| 申请号： | 202011049791.9 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112226729B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 苏炎;李昱;陈居凯 | 申请（专利权）人： | 苏州众为光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/58;B08B3/12;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 孔凡玲 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供带通滤光片的制备方法，包括镀膜前对未镀膜的空白基片进行抛光处理并超声波清洗；在基片上镀膜并对每一膜层进行膜层厚度控制；镀膜的膜系结构包括若干个法布里‑帕罗腔及连接层；连接层为非四分之一波长的光学厚度的低折射率层；镀膜后进行超声波清洗；检验得到合格的带通滤光片。本发明在膜系结构和膜层厚度以及监控方式上进行了改进，根据膜系结构多次实验选择合适的监控方法，可制备高精度的插损线性变化的带通滤光片，该带通滤光片的通带插损或透过率具有线性变化，在通带内实现了在特定的波长范围内插损随波长是线性变化的，在特定的波长范围内实现波长识别的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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