[发明专利]快速恢复二极管及其制造方法在审
申请号: | 202011051596.X | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN114335192A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 郝瑞红;曹群 | 申请(专利权)人: | 比亚迪半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/868 | 分类号: | H01L29/868;H01L21/329;H01L29/45;H01L29/06 |
代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 张美君 |
地址: | 518119 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种快速恢复二极管及其制造方法,其中,快速恢复二极管包括层叠设置的第一金属电极层、第一导电类型阴极层、第一导电类型外延层、第二导电类型阳极层及第二金属电极层,所述第二导电类型阳极层朝向第二金属电极层的一侧,至少部分区域形成有第一导电类型反型区,第一导电类型反型区形成有第二导电类型反型区,第一导电类型反型区的深度大于第二导电类型反型区的深度,第二导电类型反型区与第二金属电极层欧姆接触。该方案,由于第二导电类型反型区与第二金属电极层欧姆接触,保证了该快速恢复二极管的正面欧姆接触性能,从而在不增加正向压降VF的情况下,降低阳极的注入效率,减少关断时间,提高了产品工作频率。 | ||
搜索关键词: | 快速 恢复 二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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