[发明专利]离子探针质谱仪及其成像方法有效
| 申请号： | 202011052319.0 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112309822B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;唐国强;李秋立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/14;H01J49/26;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 陈宙 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本说明书实施例提供一种离子探针质谱仪及其成像方法。具体地，所述离子探针质谱仪包括：压缩偏转板，被配置为通过施加第一电压将样品经一次离子束扫描并轰击产生的二次离子束按时序压缩；质谱仪，被配置为对经过压缩的二次离子束进行分析；解压偏转板，被配置为通过施加第二电压将经过所述质谱仪的二次离子束按时序解压；其中，所述第一电压和所述第二电压的频率相同；以及成像组件，被配置为获取经过所述解压偏转板解压的二次离子束图像。通过这样的技术方案，在离子显微镜模式的基础上，通过对二次离子束的压缩和解压，实现对质量分辨率的提高，同时能够满足点对点的显微功能，具有成像效率高的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 探针 质谱仪 及其 成像 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院地质与地球物理研究所，未经中国科学院地质与地球物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011052319.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
