[发明专利]掩膜板,掩膜板组件及其制造方法有效
申请号: | 202011054111.2 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN112126893B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 刘月 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H10K71/16;H10K71/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张琛 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种掩膜板,掩膜板组件及其制造方法,所述掩膜板包括:有效掩膜区,位于所述掩膜板的中部,所述有效掩膜区具有阵列排布的多个第一通孔;以及焊接区,配置为焊接至掩膜板框架,位于所述有效掩膜区相对的两侧,所述焊接区具有阵列排布的多个第二通孔。 | ||
搜索关键词: | 掩膜板 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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