[发明专利]成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 202011054211.5 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112626476B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 永田透 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。提供用于有效地利用成膜装置的旋转接头所使用的液体的技术。成膜装置具备被成膜物支承部和旋转接头，旋转接头具有与被成膜物支承部连接并旋转的旋转部和设置于旋转部的周围并固定于成膜室的固定部，固定部具有被供给液体的供给口和排出液体的排出口，旋转部具有将从供给口供给的液体向被成膜物支承部供给的供给流路、将从被成膜物支承部排出的液体向排出口排出的排出流路，按供给口、供给流路、被成膜物支承部、排出流路及排出口的顺序构成供液体流动的液体流路，具有：具有将从排出口排出的液体供给到供给口的循环路径、设置于固定部的排放口以及将从排放口排出的排放液供给到供给口的路径。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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