[发明专利]光探针、光探针阵列、检查系统以及检查方法有效
| 申请号： | 202011055158.0 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112612082B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 奥田通孝;齐藤祐贵;竹谷敏永;原子翔;福士树希也;佐藤实;成田寿男 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光探针、光探针阵列、检查系统以及检查方法，能够抑制光半导体元件的检查时间的增加。光探针(10)接收从被检查体(200)输出的光信号(L)。光探针(10)具有由芯部(111)和配置于芯部(111)的外周的包层部(112)构成的光波导(11)，光波导(11)的射入光信号(L)的入射面(100)为曲率半径(R)固定的凸球面。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 阵列 检查 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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