[发明专利]传感器元件有效
| 申请号： | 202011056960.1 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112649139B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 德田智久;米田雅之;东条博史;津岛鲇美;木田希 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L13/02;G01L13/06;G01L19/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件的传感器芯片(10a)具备：第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42)；第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43)；第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47)、槽(35、53)以及凹陷部(33、50))，其将第1压力传递至膜片(42)；以及第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51))，其将第2压力传递至膜片(42、43)。在利用等效电路表示第1、第2压力向膜片(42、43)的传递时，第1压力的传递路径与第2压力的传递路径对称。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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