[发明专利]一种半导体晶圆表面清理和安全储存保护箱

摘要

本发明公开的一种半导体晶圆表面清理和安全储存保护箱，包括箱体，所述箱体内设有升降腔，所述升降腔左右壁之间上下滑动的设有夹持块，所述夹持块内设有开口向下的夹紧板腔，本发明将刻蚀之后半导体晶圆进行冲洗和烘干保存，刻蚀之后的晶圆的缝隙中会有一些废屑，由于比较小，不好清除，本装置将刻蚀好的晶圆夹持之后，喷洒清洗液，通过旋转晶圆和翻转晶圆，使缝隙中的废屑掉落，烘干装置将废屑吹落和烘干晶圆，处理好之后的晶圆分别储存在各个储存腔中保存，储存箱中的减震装置可以减少装置运动产生的震动，使晶圆的储存环境比较稳定防止振动损坏晶圆。