[发明专利]真空腔室和舱门结构

摘要

本发明公开了一种舱门结构，包括设置在顶盖上的加样孔和盖装在所述加样孔外侧的舱门，舱门上设有凸起，凸起在舱门盖装在加样孔上时向内延伸伸入所述加样孔，所述凸起的内侧侧面与所述顶盖的内侧侧面之间的间距小于加样靶板的厚度。本发明的舱门结构，通过将凸起的内侧侧面与顶盖内侧侧面之间的间距设置为小于加样靶板的厚度，如此，当加样靶板没有安装正确时，凸起的内侧侧面会与加样靶板之间产生干涉，从而导致舱门无法正常关闭，也即本发明的舱门结构能够检测加样靶板是否正确安装到靶板槽内；另外，当加样靶板的安装位置有细微误差时，舱门关闭过程中，凸起可压在加样靶板上，将加样靶板压正，使其正确安装在靶板槽内，还能起到纠偏的作用。