[发明专利]石墨基座和MOCVD设备有效
| 申请号： | 202011065403.6 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112458531B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;王慧;陈张笑雄;郭炳磊;王群;刘春杨;梅劲;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/12;C30B25/14;C30B28/14 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种石墨基座和MOCVD设备，属于半导体技术领域。石墨基座的一个圆形端面上设有多个圆形槽和至少一个条形槽；多个圆形槽的中心分布在至少两个圆形上，至少一个条形槽分布在至少一个圆环内，每个圆环位于至少两个圆形槽之间，至少两个圆形槽包括至少一个第一圆形槽和至少一个第二圆形槽，至少一个第一圆形槽的中心分布在相邻的两个圆形中靠近石墨基座的中心的圆形上，至少一个第二圆形槽的中心分布在相邻的两个圆形中远离石墨基座的中心的圆形上；第一圆形槽的远心点和第一圆形槽相邻的第二圆形槽之间的最短连线与至少一个条形槽间隔设置，远心点为第一圆形槽上距离石墨基座的中心最远的点。本公开可改善波长均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 基座 mocvd 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华灿光电（浙江）有限公司，未经华灿光电（浙江）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011065403.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
