[发明专利]一种利用BOE废液制备氟化氢铵的方法在审
| 申请号： | 202011068273.1 | 申请日： | 2020-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN112158858A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 郭维林;刘晓雨;李张成;刘围 | 申请（专利权）人： | 江苏电科环保有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;李卫萍 |
| 地址： | 214142 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种利用BOE废液制备氟化氢铵的方法，其通过对BOE废液进行回收利用，不仅可避免直接排放BOE废液造成环境污染，而且回收制备的氟化氢铵产品纯度高、含水率低，且投资成本小、生产成本低；其采用半导体蚀刻工艺产生的BOE废液作为原料，使用氢氧化钡作为沉淀剂去除废液中的杂质，然后通入无水氟化氢将氟化铵转化为氟化氢铵，再采用蒸发、冷却结晶、离心分离和干燥即可得到高纯度且含水率低的氟化氢铵。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 boe 废液 制备 氟化氢 方法 | ||
【主权项】：
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