[发明专利]基于双光路同步相移干涉的螺旋曲面形状误差的测量方法有效
| 申请号： | 202011069823.1 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112268522B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王晛;方素平;刘健宁;连天虹 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 弓长 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于双光路同步相移干涉的螺旋曲面形状误差的测量方法，沿测量光路设置有前光楔、后光楔；沿扫描测量光路设置有结构光传感器，前光楔与后光楔之间放置被测物体。将结构光传感器引入干涉测量装置中，投射的结构光通过在测量过程中与被测物表面的相对运动，结合干涉测量数据，使得在对大螺旋角复杂螺旋曲面进行测量时可以保证全场测量。本发明的测量方法将空间相移技术引入到干涉测量装置中，通过单次测量拍摄能够得到多张移相干涉图，简化了操作流程步骤，提升了装置的抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双光路 同步 相移 干涉 螺旋 曲面 形状 误差 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安理工大学，未经西安理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011069823.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
