[发明专利]图案布局设计方法、图案形成方法和半导体器件制造方法

摘要

本发明涉及一种设计图案的布局的方法、使用其形成图案的方法、和制造半导体器件的方法。在一旋转方向上旋转原始图案的布局以形成旋转图案的布局。将旋转图案的布局的顶点和分割点与参考点中离其最近的参考点匹配，并连接匹配的参考点，以形成第一修改图案的布局。放大第一修改图案的布局的区域，以形成第二修改图案的布局。形成具有与旋转图案的布局相同的方向的参考图案的布局。基于参考图案和第二修改图案的布局重叠的区域，形成目标图案的布局。对目标图案的布局执行光学邻近校正，以形成第三修改图案的布局，将第三修改图案的布局在相反的旋转方向上旋转以形成最终图案的布局。