[发明专利]一种不受湿度影响的高性能硫化氢气敏传感器的制备方法在审

专利信息
申请号: 202011072271.X 申请日: 2020-10-09
公开(公告)号: CN112162020A 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 童欣;王伟杰;任海波;朱金龙 申请(专利权)人: 浙江科技学院
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;C25D11/26;C25D11/02
代理公司: 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 代理人: 丁海华;万珠明
地址: 310012 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种不受湿度影响的高性能硫化氢气敏传感器的制备方法,包括以下步骤:(1)以钛箔接电源正极,惰性电极接负极,将两极置入电解液中;所述电解液为含有0.1‑1wt%NH4F和15‑25wt%去离子水的乙二醇溶液;(2)以15‑30V电压阳极氧化0.8‑1.5小时,然后向电解液中加入0.1‑5wt%氯化锌,以10‑25V电压继续反应0.8‑1.5小时,反应结束后,将制得的钛箔样品用去离子水清洗,自然干燥后将其置于加热炉中,在空气气氛中,以8‑12℃/min升温至400‑500℃,保温1.5‑2.5小时,然后随加热炉冷却至室温,得到掺杂锌的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列薄膜;(3)以掺杂锌的锐钛矿型二氧化钛纳米管阵列薄膜进行硫化氢气敏传感器的制备。本发明制备的气敏传感器的灵敏度不受湿度影响,具有良好的稳定性和灵敏度。
搜索关键词: 一种 不受 湿度 影响 性能 硫化 氢气 传感器 制备 方法
【主权项】:
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