[发明专利]一种超薄水膜辅助脉冲激光微加工装置及其加工方法有效
| 申请号： | 202011075274.9 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112317961B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 郭振飞;郭兵;赵清亮;尹航;刘文超 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/146;B23K26/14;B23K26/064;B23K26/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 刘景祥 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄水膜辅助脉冲激光微加工装置及其加工方法。所述加工装置包括激光聚焦装置1、喷雾装置2、喷雾调整装置3和旋转装置4，所述旋转装置4安装在激光聚焦装置1上，所述所述旋转装置4与喷雾调整装置3相连接，所述喷雾调整装置3上设置喷雾装置2。本发明为了解决现有的水辅助激光微加工中加工效率、加工精度和加工分辨率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 辅助 脉冲 激光 加工 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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