[发明专利]一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置在审
| 申请号： | 202011075850.X | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112223106A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 潘丽华 | 申请（专利权）人： | 潘丽华 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B41/02;B24B47/22;B24B47/12;B24B47/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 528500 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，包括轨道，所述轨道的顶部滑动连接有移动小车，所述移动小车的顶部通过沿竖直方向分布的升降组件活动连接有定位组件，所述定位组件的右侧通过执行机构活动连接有研磨组件，所述执行机构包括滑台，所述滑台顶部的前侧固定安装有沿竖直方向分布的第一电机，所述滑台的内部转动连接有丝杆，所述丝杆的外部且位于滑台的内部活动连接有滑座，本发明涉及真空磁控溅射技术领域。该用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，通过设置有执行机构和研磨组件，利用研磨组件替代人工研磨可以确保研磨的质量以及效率，利用执行机构可以实现研磨组件对整个密封面的研磨效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 镀膜 装卸 装置 | ||
【主权项】：
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