[发明专利]一种平面TEM样品的制备方法及平面TEM样品有效
| 申请号： | 202011075854.8 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112067405B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 尹志军;崔国新;李若木;许志城 | 申请（专利权）人： | 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种平面TEM样品的制备方法及平面TEM样品，该制备方法将待测样品置于样品台上；控制样品台倾斜至52度；在待测样品的表面构建目标制样区域；使用离子束刻蚀得到目标矩形样品；控制样品台倾斜至‑10度；使用离子束进行刻蚀，得到目标锲形体，目标锲形体的第一锲形表面与第二锲形表面的交汇处能够将目标锲形体的底部从待测样品中分割出来；将样品台倾斜至零度；控制纳米机械手提取出目标锲形体，并在旋转90度后，将目标锲形体焊接至标准铜网上并减薄到目标厚度，得到平面TEM样品。上述制备方法通过控制样品台的倾斜角度，使目标锲形体中两个锲形表面在交汇的过程中，将目标锲形体从待测样品中分割出来。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 tem 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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