[发明专利]用于薄壁曲面半导体用石英部件的制造设备及制造方法有效
| 申请号： | 202011076278.9 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112194346B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 顾曹鑫;吴慧明;马洋洋;王瑞洲 | 申请（专利权）人： | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B23/023;H01L21/22;G06F30/17;G06F30/20;G06F113/22 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 达晓玲 |
| 地址： | 201801 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体用石英部件制造技术领域，具体涉及一种制造设备及制造方法。其中制造设备，包括玻璃灯工车床，玻璃灯工车床上设有两个可转动的立柱卡盘，一个立柱卡盘上装夹成型装置，成型装置具有中空结构；成型装置的一侧端面向内凹形成内腔，内腔的腔壁上设有与中空结构联通的通孔；成型装置的另一侧端面上设有管螺纹孔，所螺纹孔联通中空结构，管螺纹孔连接旋转接头，旋转接头通过管路连接储气罐，储气罐连接真空泵。通过本发明的制造设备及制造方法，保证了典型薄壁曲面石英部件的壁厚，没有波浪纹等缺陷，减少了对人工的依赖，一次成型后即达到了产品的原始要求，提高了产品的良率，降低了加工周期，以及加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄壁 曲面 半导体 石英 部件 制造 设备 方法 | ||
【主权项】：
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