[发明专利]一种波导型光电探测器及制造方法

摘要

本发明提供一种波导型光电探测器及制造方法，第一衬底的正面形成有包覆层，包覆层中形成有第一氮化硅光波导，第二衬底的正面形成有锗外延层，第一衬底和第二衬底的正面键合之后，从第二衬底的背面进行减薄，以暴露锗外延层。而后对锗外延层进行刻蚀工艺，形成台阶结构，在台阶结构的侧壁形成第二氮化硅光波导，在锗外延层上形成光电探测器，从而实现氮化硅光波导与锗基探测器的集成。这样，第一氮化硅光波导传输的光能够通过第二氮化硅光波导更快传输至光电探测器中，利用氮化硅光波导较低的传输损耗性，提高光的传输效率，并且氮化硅波导与锗基光电探测器之间能形成高质量的氮化硅/锗界面，能够提高光电探测器的响应度以及光电转换能力。