[发明专利]一种基于微纳隔离结构的高密度低串扰波导阵列有效
| 申请号： | 202011078336.1 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112180506B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 冯吉军;刘海鹏;孙福领;曾和平 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 梁剑 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于微纳隔离结构的高密度低串扰波导阵列，包括基底以及基于硅波导的芯层；芯层包括两个相同结构参数的硅宽波导和两个硅周期光栅；两个硅宽波导布置于基底上，相邻的两个硅宽波导之间设有两个不同参数结构的硅周期光栅。通过中间光栅结构，使得不同波导之间光的相位失配，达到抑制耦合的作用，从而提出一种结构紧凑、透射率高且串扰低的波导阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 隔离 结构 高密度 低串扰 波导 阵列 | ||
【主权项】：
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