[发明专利]一种用于调幅探针卡的驱动结构有效
| 申请号： | 202011081014.2 | 申请日： | 2020-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN112098811B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王艾琳;赵梁玉 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种用于调幅探针卡的驱动结构，所述驱动结构设置在探针卡的上方，驱动结构包括驱动气缸和限位气缸，所述驱动气缸用于驱动所述的调幅结构，多个所述的限位气缸依次设置在所述驱动气缸的行程上，用于对驱动气缸的行程进行限位，限位气缸设置在驱动气缸伸出端的行程内，使驱动气缸在驱动调幅时，具有多个档位，每个档位均与调幅探针卡的偏心辊对应，在实现自动调幅的同时，能够对调幅后的探针进行固定，并且，不会产生电磁干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 调幅 探针 驱动 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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