[发明专利]一种柔性压电三维传感阵列的制作方法在审
| 申请号： | 202011082118.5 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112229546A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 刘欢;李云鹏;王俊尧;孙功臣;陈星宇;孙琦;王锐;郎天鸿;崔博文 | 申请（专利权）人： | 东北电力大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01D5/12;B29C39/10;B29C39/26;B29C33/52 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 13201*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性压电三维传感阵列的制作方法，包括如下步骤：使用高精度3D打印机分别打印出制作正极PDMS膜和负极PDMS膜的模具，其中模具的材料为聚乙烯醇；分别抽取50ml的PDMS和5ml的固化剂充分混合；将混合后的PDMS胶分别倒入两个模具中，放入真空干燥箱内加热1小时；PDMS凝固后，将两块模具放入去离子水中2小时，使以聚乙烯醇为材料制作的模具充分溶解；将导线与PVDF放入对应的PDMS膜内；使两块PDMS膜对准，确保每根负极导线分别对应3块PVDF膜，再将其通过等离子体键合机键合。该方法的加工步骤简洁，无需在PDMS的表面进行光刻等一系列步骤，节约材料，有利于柔性压电传感器的大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压电 三维 传感 阵列 制作方法 | ||
【主权项】：
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