[发明专利]一种气相化学沉积托盘装置

摘要

本发明公开了一种气相化学沉积托盘装置，中心轴联动齿轮和载板联动齿轮均安装在行星托盘内并互相啮合传动，中心轴一端穿入中心轴联动齿轮的齿轮内孔中并与中心轴联动齿轮一起联动旋转，载板旋转轴下端穿入载板联动齿轮的齿轮内孔中并与载板联动齿轮一起联动旋转，外延衬底载板设置在载板旋转轴上端随载板旋转轴一起联动旋转；本技术方案中，将各外延衬底载板自旋转的驱动方式由气流驱动改为齿轮驱动，转速更稳定，免受气流量波动变化的影响；本装置的齿轮传动机构安装在行星托盘内部，而非暴露在反应气体中，减少因反应颗粒沉积造成齿轮卡滞或咬死的可能，有效提高传动的稳定性。