[发明专利]一种半导体材料生产技术设备有效
| 申请号： | 202011086319.2 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112171412B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈福育 | 申请（专利权）人： | 宁波云德半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B55/06;B24B41/06;B24B27/00 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 饶富春 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体材料生产技术设备，其结构包括设备主体、控制器、套轴、侧除装置、支架、抛光件、液压轴。有益效果：本发明利用设有的柔护机构，对晶片过程中产生的晶片屑在挡扣的配合下，进行侧边隔挡，以防止晶片打磨产生的废屑在旋转设备旋转的配合下，呈堆积状滞留在晶片侧边表面，不利于该废屑被设备吸收，从而导致滞留侧边的废屑对晶片在持续的抛光过程中，被反卷至晶片表面，导致晶片表面打磨度不整，本发明配合设有的纳堆结构，在柔除件于其贯穿相连接的作用下，对捋除后的侧边废屑进行集中性的吸收处理，以避免其滞留在晶片侧边表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 生产技术 设备 | ||
【主权项】：
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