[发明专利]一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统有效
申请号: | 202011087016.2 | 申请日: | 2020-10-12 |
公开(公告)号: | CN112246489B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 马宗敏;刘俊;董诚;石云波;唐军;王慧云;魏久焱 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | B05B13/06 | 分类号: | B05B13/06;B05B13/02;B05B16/20;B05B12/00;B05D5/00;B05D7/22 |
代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人: | 朱源 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明涉及一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统,由石蜡储备单元、加热镀膜单元、旋转驱动单元、光学镀膜均匀检测器、微区加热镀膜修整单元、圆柱型原子气室、驱动轮构成。其中,石蜡储备单元由石蜡溶液容器、蠕动泵、石蜡溶液喷头组成;加热镀膜单元由恒温加热管组成;旋转驱动单元由伺服电机、驱动小齿轮、从动大齿轮、轴向运动滚轮组成;光学镀膜均匀检测器由多象限光线偏转探测器、激光控制器、连接线、激光探头组成;微区加热镀膜修整单元由多个微小加热片组成。 | ||
搜索关键词: | 一种 圆柱 原子 石蜡 抗弛豫 镀膜 装置 控制系统 | ||
【主权项】:
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