[发明专利]一种多晶硅硅芯的制备方法及其结构在审
申请号: | 202011087582.3 | 申请日: | 2020-10-13 |
公开(公告)号: | CN112209382A | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 丁小海;杨明财;施光明;郑连基;宗冰;吉红平;肖建忠;王体虎 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;B28D5/04 |
代理公司: | 广州恒成智道知识产权代理有限公司 44575 | 代理人: | 刘挺 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅硅芯的制备方法及其结构,涉及多晶硅生产技术领域,旨在解决目前切割后得到的多晶硅硅芯难以满足CVD反应器的使用要求的问题,提供了以下技术方案,包括以下步骤:将多晶硅棒夹持于线切割机内,切除所述多晶硅棒的边皮部分,以制备符合预设形状和/或预设尺寸的多晶硅硅芯;将所述多晶硅棒的边皮部分制备成嫁接套管;连接所述嫁接管套和所述多晶硅硅芯,以得到符合预设长度的多晶硅硅芯。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 硅硅芯 制备 方法 及其 结构 | ||
【主权项】:
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