[发明专利]NF3气体检测预处理炉在审
| 申请号： | 202011088574.0 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112415134A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郑锐 | 申请（专利权）人： | 南通峥麒环保科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N1/44;F27B17/02 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 226321 江苏省南通市通州区高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种NF3气体检测预处理炉，包括外壳，外壳一侧设置待测气体NF3的气嘴进气口，和转化气体NO2的气嘴出气口，另一侧安装PCBA、PCB材质环氧玻璃布层压板F4、单面布元器件；设置包含NF3气体进气口和NO2出气口的外壳，在进气口上游安装稳流阀，保证NF3进气流量稳定在200～250ml/min内；将反应质加热并恒定保持在设计温度的恒温内腔，内部安装有陶瓷加热元件和测温PT100热电阻，两者与恒温内腔间通过无机粘结剂气密封接。 | ||
| 搜索关键词： | nf3 气体 检测 预处理 | ||
【主权项】：
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