[发明专利]一种基于移动环形光源的光学表面划痕表征装置及方法在审
申请号: | 202011089178.X | 申请日: | 2020-10-13 |
公开(公告)号: | CN112083008A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 翟春婕;李文骞;丁蕙;刘云恒;韩法旺;管文坛 | 申请(专利权)人: | 南京森林警察学院 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 马严龙 |
地址: | 210046 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明专利涉及测试计量技术领域,尤其是一种基于移动环形光源的光学表面划痕表征装置及方法,结构上包括上位机、电动照明平移台、照明模块、成像模块、电动聚焦平移台、待测光学元件、电动样品平移台、电机驱动模块;待测光学元件置于电动样品平移台上,照明模块固定在电动照明平移台上,电动照明平移台上可沿照明模块上下移动,调整照明模块与待测光学元件之间的相对位置并调整照明角度,电动聚焦平移台安装于固定的支架上,成像模块可沿电动聚焦平移台上下移动。本发明可使用低分辨率进行表面测量,同时多角度测量提供了更准确的数据,有助于划痕等级反演,具有准确高效的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 移动 环形 光源 光学 表面 划痕 表征 装置 方法 | ||
【主权项】:
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