[发明专利]一种靶材的清洗方法在审
| 申请号： | 202011089333.8 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112452946A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 文宏福;郭文明 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。一种靶材的清洗方法，通过本发明的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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