[发明专利]基于硅SIW隔离腔的微封装MEMS开关滤波器组及其制造方法有效
| 申请号： | 202011091603.9 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112491385B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 侯芳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H03H11/02 | 分类号： | H03H11/02;H03H11/16;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于硅SIW隔离腔的微封装MEMS开关滤波器组及其制造方法，滤波器组包括SIW隔离腔、开关芯片、下层A滤波器组、上层B滤波器组、滤波器与开关的互连电路、密封键合环结构和5层衬底材料；下层A滤波器组位于自下而上A衬底和B衬底之间，上层B滤波器组位于自下而上C衬底和D衬底之间。本发明利用硅基MEMS圆片级键合工艺将多个开关与上下堆叠的MEMS开关滤波器组进行集成封装，极大缩小了传统开关滤波器组件的体积；SIW隔离腔结构提升了多个小型化滤波器间的隔离度；MEMS工艺的微米级高精度加工技术使所述开关滤波器组无需后期调试，可实现批量化大规模生产，器件性能一致性高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 siw 隔离 封装 mems 开关 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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