[发明专利]一种F-β-Ga2O3/CuGaO2紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光探测器技术领域，具体涉及一种F‑β‑Ga2O3/CuGaO2紫外光电探测器及其制备方法，该制备方法的步骤包括：先用乙酸铜、硝酸镓和NaOH反应制得CuGaO2纳米片，然后以硝酸镓为Ga源，辅以NaF分别制备负载在CuGaO2纳米片上的F‑β‑Ga2O3/CuGaO2和纯的F‑β‑Ga2O3；然后将两张材料先后涂在叉指电极上并用热蒸发在薄膜上制备Au电极，得到F‑β‑Ga2O3/CuGaO2紫外光电探测器。本发明所述紫外光电探测器具备高的的光敏度和响应度，探测器响应速度快。