[发明专利]异味去除装置和涂胶显影机台有效
| 申请号： | 202011096036.6 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112198766B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李华;闻旭;王琦;赵春雨;张浩;葛斌;吴长明 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种异味去除装置和涂胶显影机台，该装置包括：挡板，其悬挂于涂胶显影机台的背面散发异味的位置；挂钩，其设置于所述挡板上，用于将挡板悬挂在散发异味的位置；出气管，其设置于挡板上，其一端通孔与散发异味的位置连通，其通孔的另一端与排气管的一端连接，排气管的另一端与I线光刻设备所在的厂房的排气系统连接；其中，挡板上设置有通孔，该通孔用于分配挡板内侧的气体压力。本申请该装置通过通孔能够分配挡板内侧气体压力，通过出气管和排气管能够将散发异味的气体输出至排气系统，从而能够较为彻底地去除I线光刻工艺的涂胶显影机台背面散发的异味。 | ||
| 搜索关键词： | 异味 去除 装置 涂胶 显影 机台 | ||
【主权项】：
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