[发明专利]板卡盒在审
| 申请号： | 202011098063.7 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112328015A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 蒙小刚;周玮 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F1/18 | 分类号： | G06F1/18 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种板卡盒，涉及光刻机的技术领域。该板卡盒，包括盒体和板卡组，盒体设置有容纳腔，板卡组安装于容纳腔内，板卡组包括平行且间隔设置的第一板卡和第二板卡，第一板卡具有用于与背板插接的第一接头，第二板卡具有用于与背板插接的第二接头，第一接头和第二接头均设置于第一板卡和第二板卡之间。当第一板卡和第二板卡之间的距离不变时，该板卡组的总高度减小，从而能够减小板卡盒的体积以及占用空间。 | ||
| 搜索关键词： | 板卡 | ||
【主权项】：
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