[发明专利]穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统在审
| 申请号： | 202011098802.2 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112345460A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 李伟奇;张传维;颜凡;陈军;郭春付;刘世元 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 王振宇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统，首先使双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪工作在双旋转模式下，计算获得系统参数；然后关停起偏臂或检偏臂端电机，重新校准部分系统参数；最后更新系统参数，双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪成功从双旋转模式切换为高产率模式。本发明通过将双补偿器型穆勒矩阵椭偏仪设定为双旋转模式获得大部分系统参数后，在不对仪器本身系统结构做任何改变的情况下，停掉起偏臂或检偏臂端低速电机，更新部分系统参数即可成功切换为高产率模式，通过让穆勒矩阵椭偏仪灵活切换为双旋转模式或高产率模式，使其根据实际工业需求满足高精度或高产率的测量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 穆勒 矩阵 椭偏仪 旋转 高产 模式 切换 方法 系统 | ||
【主权项】：
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